博士論文

半導体デバイスにおける超低誘電率層間絶縁膜形成技術に関する研究

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半導体デバイスにおける超低誘電率層間絶縁膜形成技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2011-L67
Bibliographic ID of National Diet Library
023337649
Material type
博士論文
Author
安原重雄 [著]
Publisher
[安原重雄]
Publication date
[2010]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
半導体デバイスにおける超低誘電率層間絶縁膜形成技術に関する研究
Title Transcription
ハンドウタイ デバイス ニ オケル チョウ テイユウデンリツ ソウカン ゼツエンマク ケイセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
安原重雄 [著]
Author Heading
安原, 重雄 ヤスハラ, シゲオ
Publication, Distribution, etc.
[安原重雄]
Publication Date
[2010]
Publication Date (W3CDTF)
2010
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学