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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- デンシセン リソグラフィ ニ ヨル チョウセイミツ ビサイ カコウ ギジュツ ト ソノ ナノインプリント モールド セイゾウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 法元盛久 [著]
- 著者標目
- 法元, 盛久 ホウガ, モリヒサ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2011]
- 出版年（W3CDTF）
- 2011
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 九州大学
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