電子線リソグラフィによる超精密微細加工技術とそのナノインプリントモールド製造への応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 電子線リソグラフィによる超精密微細加工技術とそのナノインプリントモールド製造への応用に関する研究
• Title Transcription: デンシセン リソグラフィ ニ ヨル チョウセイミツ ビサイ カコウ ギジュツ ト ソノ ナノインプリント モールド セイゾウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 法元盛久 [著]
• Author Heading: 法元, 盛久 ホウガ, モリヒサ
• Publication, Distribution, etc.: [法元盛久]
• Publication Date: [2011]
• Publication Date (W3CDTF): 2011
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成23年9月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2011
• Dissertation Number: 甲第10496号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2011-P64
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023432482; http://id.ndl.go.jp/bib/023432482
• Bibliographic Record Category (NDL): 213