博士論文

Multirate control techniques for fast and precise positioning and applications to high-precision stages

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Multirate control techniques for fast and precise positioning and applications to high-precision stages

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-Q533
国立国会図書館書誌ID
023532890
資料種別
博士論文
著者
Koichi Sakata [著]
出版者
[Koichi Sakata]
出版年
[2011]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
横浜国立大学,博士 (工学)
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博士論文

付属資料:

要旨 2枚

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Koichi Sakata [著]
著者標目
坂田, 晃一 サカタ, コウイチ
出版事項
出版年月日等
[2011]
出版年(W3CDTF)
2011
数量
1冊
付属資料
要旨 2枚
並列タイトル等
高速高精度位置決めのためのマルチレート制御技術と超精密ステージへの応用 コウソク コウセイド イチギメ ノ タメ ノ マルチレート セイギョ ギジュツ ト チョウセイミツ ステージ エ ノ オウヨウ