Study on nano-scale servo control of high-speed high-precision atomic force microscopes

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study on nano-scale servo control of high-speed high-precision atomic force microscopes
• 著者・編者: Takayuki Shiraishi [著]
• 著者標目: 白石, 貴行 シライシ, タカユキ
• 出版事項: [Takayuki Shiraishi]
• 出版年月日等: [2011]
• 出版年（W3CDTF）: 2011
• 数量: 1冊
• 付属資料: 要旨 1枚
• 並列タイトル等: 原子間力顕微鏡の高速高精度ナノスケールサーボ制御に関する研究 ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ コウソク コウセイド ナノスケール サーボ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 横浜国立大学
• 授与年月日: 平成23年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2011
• 報告番号: 甲第1414号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2011-Q588
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023537835; http://id.ndl.go.jp/bib/023537835
• 整理区分コード: 213