書店で探す
目次
目次
1. 総論
1.1 はじめに―ケミカルハザード対策の必要性/ 3
1.2 半導体製造プロセスの概要/ 4
1.2.1 総論―電子産業における化学物質による環環汚染とその対策/ 4
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
関東
千葉県立西部図書館
紙- 請求記号：
- 5098/ 15/
- 図書登録番号：
- 1101016888
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 528.2-23
- 図書登録番号：
- 80335177
東海・北陸
三重県立図書館
紙- 請求記号：
- 509.8-ｸ
- 図書登録番号：
- 112196472
近畿
大阪市立図書館
紙- 図書登録番号：
- 0000293890
兵庫県立図書館
紙- 請求記号：
- ５２８．３／３２
- 図書登録番号：
- 103769048
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-924801-06-2
- タイトルよみ
- クリーン ルーム ニ オケル カガク アンゼン ハンドブック
- 著者・編者
- 日本空気清浄協会 編
- 出版年月日等
- 1991.11
- 出版年（W3CDTF）
- 1991
- 数量
- 375p