クリーンルームにおける化学安全ハンドブック = Chemical safety in clean rooms

• Material Type: 図書
• ISBN: 4-924801-06-2
• Title: クリーンルームにおける化学安全ハンドブック
• Title Transcription: クリーン ルーム ニ オケル カガク アンゼン ハンドブック
• Author/Editor: 日本空気清浄協会 編
• Author Heading: 日本空気清浄協会 ニホン クウキ セイジョウ キョウカイ ( 00294193 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : テクネット; [東京] : 丸善 (発売)
• Publication Date: 1991.11
• Publication Date (W3CDTF): 1991
• Extent: 375p
• Size: 27cm
• Alternative Title: Chemical safety in clean rooms Chemical safety in clean rooms; Chemical safety in clean rooms
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities; クリーンルーム クリーンルーム ( 01062001 )Authorities; 化学物質--安全管理 カガクブッシツ アンゼンカンリ ( 00982396 )Authorities; 労働衛生 ロウドウエイセイ ( 00569594 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 文献あり
• Price: 24272円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-J206
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023556663; http://id.ndl.go.jp/bib/023556663
• National Bibliography No. (JPNO): 22077342
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

目次

1. 総論

1.1 はじめに―ケミカルハザード対策の必要性/ 3

1.2 半導体製造プロセスの概要/ 4

1.2.1 総論―電子産業における化学物質による環環汚染とその対策/ 4