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クリーンルームにおける化学安全ハンドブック

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クリーンルームにおける化学安全ハンドブック = Chemical safety in clean rooms

Call No. (NDL)
ND371-J206
Bibliographic ID of National Diet Library
023556663
Material type
図書
Author
日本空気清浄協会 編
Publisher
テクネット
Publication date
1991.11
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
375p ; 27cm
NDC
549.8
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Table of Contents

  • 目次

  • 1. 総論

    執筆者:重田芳広(1.1)||馬場英夫(1.2)

  • 1.1 はじめに―ケミカルハザード対策の必要性/ 3

  • 1.2 半導体製造プロセスの概要/ 4

  • 1.2.1 総論―電子産業における化学物質による環環汚染とその対策/ 4

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    Book Registration Number:
    0002911287
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Paper

Material Type
図書
ISBN
4-924801-06-2
Title Transcription
クリーン ルーム ニ オケル カガク アンゼン ハンドブック
Author/Editor
日本空気清浄協会 編
Author Heading
日本空気清浄協会 ニホン クウキ セイジョウ キョウカイ ( 00294193 )Authorities
Publication Date
1991.11
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
375p