Direct patterning of thin oxide layer of compound semiconductors by low-energy electron-beam lithography for successive selective area growth

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Direct patterning of thin oxide layer of compound semiconductors by low-energy electron-beam lithography for successive selective area growth
• 著者・編者: Kazuhiro Matsuda [著]
• 著者標目: 松田, 一宏 マツダ, カズヒロ
• 出版事項: [Kazuhiro Matsuda]
• 出版年月日等: [2011]
• 出版年（W3CDTF）: 2011
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 低加速電子線描画による化合物半導体表面酸化膜の直接改質とその場選択成長 テイカソク デンシセン ビョウガ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ヒョウメン サンカマク ノ チョクセツ カイシツ ト ソノバ センタク セイチョウ
• 授与機関名: 関西学院大学
• 授与年月日: 平成23年11月16日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2011
• 報告番号: 甲第396号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2011-R221
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023575668; http://id.ndl.go.jp/bib/023575668
• 整理区分コード: 213