2010 international symposium on semiconductor manufacturing : (ISSM 2010) : Tokyo, Japan : 18-20 October 2010 : 18th annual ISSM : ISSM2010 : Oct 2010, Tokyo, Japan.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781457703928
• ISSN: 1523553X
• タイトル: 2010 international symposium on semiconductor manufacturing : (ISSM 2010) : Tokyo, Japan : 18-20 October 2010 : 18th annual ISSM : ISSM2010 : Oct 2010, Tokyo, Japan.
• 著者標目: International Symposium on Semiconductor Manufacturing (2010 : Tokyo, Japan)
• 出版事項: Piscataway : IEEE
• 出版年月日等: c2010.
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 数量: 446 p.
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 27 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductors--Design and construction--Congresses.; Semiconductor industry--Congresses.; Computer integrated manufacturing systems--Congresses.
• LCC: TK7871.85
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Program, presentations, an abstract and papers.; IEEE cat no CFP10SSM-PRT.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 一次資料へのリンクURL: http://ieeexplore.ieee.org/servlet/opac?punumber=5741884
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-12-3272
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023595984; http://id.ndl.go.jp/bib/023595984
• OCLC番号: 770428135; https://www.worldcat.org/oclc/770428135
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215