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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウミツド プラズマ ガン オヨビ DC マグネトロン スパッタホウ オ モチイタ テイオン ダイメンセキ キバンヨウ セイマク プロセス ト ソノ マク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 小島啓安 [著]
- 著者標目
- 小島, 啓安 コジマ, ヒロヤス
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2012]
- 出版年（W3CDTF）
- 2012
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 名古屋大学