高密度プラズマガン及びDCマグネトロンスパッタ法を用いた低温・大面積基板用成膜プロセスとその膜特性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 高密度プラズマガン及びDCマグネトロンスパッタ法を用いた低温・大面積基板用成膜プロセスとその膜特性に関する研究
• Title Transcription: コウミツド プラズマ ガン オヨビ DC マグネトロン スパッタホウ オ モチイタ テイオン ダイメンセキ キバンヨウ セイマク プロセス ト ソノ マク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 小島啓安 [著]
• Author Heading: 小島, 啓安 コジマ, ヒロヤス
• Publication, Distribution, etc.: [小島啓安]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成24年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第9642号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-A768
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023667371; http://id.ndl.go.jp/bib/023667371
• Bibliographic Record Category (NDL): 213