Ceramic thick films for MEMS and microdevices

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781437778175 (hbk.); 1437778178 (hbk.)
• タイトル: Ceramic thick films for MEMS and microdevices
• 著者・編者: Robert Dorey.
• シリーズタイトル: Micro and nano technologies series
• タイトル標目: Micro & nano technologies.
• 著者標目: Dorey, Robert.
• 出版事項: Waltham, [MA] : William Andrew
• 出版年月日等: c2012.
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: xviii, 191 p.
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Thick-film circuits--Design and construction.; Microelectromechanical systems--Design and construction.; Nanoelectronics.
• LCC: TK7871.15.F5
• DDC: 621.3815
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references (p. 183-185) and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B66
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023691854; http://id.ndl.go.jp/bib/023691854
• LC control number: 2011276747; https://lccn.loc.gov/2011276747
• OCLC番号: 751752964; https://www.worldcat.org/oclc/751752964
• 整理区分コード: 211