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Advances in resist materials and processing technology 29 : 13-15 February 2012 : San Jose, California, United States : Feb 2012, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 8325)

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Advances in resist materials and processing technology 29 : 13-15 February 2012 : San Jose, California, United States : Feb 2012, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 8325)

国立国会図書館請求記号
M17-12-4062
国立国会図書館書誌ID
023762502
資料種別
図書
著者
Somervell, Mark Howell, 1973-ほか
出版者
SPIE
出版年
c2012.
資料形態
ページ数・大きさ等
1 v. (various pagings) ; 28 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.

形態の詳細:

ill.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
9780819489814
ISSN(シリーズ)
0277786X
シリーズタイトル
出版事項
出版年月日等
c2012.
出版年(W3CDTF)
2012