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第1編 ●エレクトロニクスにおけるスケーリングの追求と絶縁膜の技術・科学的課題
第1章 絶縁膜の超薄膜化ニーズ
1 はじめに/ 3
2 集積回路におけるトランジスタの微細化の必要性/ 3
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関東
茨城県立図書館
紙- 請求記号：
- 549.8/ﾅﾉ/
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-5249-2012
- 図書登録番号：
- 7100919983
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 549-443
- 図書登録番号：
- 81587024
その他
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-86469-039-3
- タイトルよみ
- ナノ エレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2012.7
- 出版年（W3CDTF）
- 2012
- 数量
- 338,11p 図版22p
- 大きさ
- 27cm
- 出版地（国名コード）
- JP