2012 23rd annual SEMI advanced semiconductor manufacturing conference : (ASMC 2012) : Saratoga Springs, New York, USA : 15-17 May 2012 : May 2012, Saratoga Springs, NY.

著者: IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (23rd : 2012 : Saratoga Springs, N.Y.)

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資料種別: 図書
ISBN: 9781467303507 (pbk.)
ISSN: 10788743
タイトル: 2012 23rd annual SEMI advanced semiconductor manufacturing conference : (ASMC 2012) : Saratoga Springs, New York, USA : 15-17 May 2012 : May 2012, Saratoga Springs, NY.
著者標目: IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (23rd : 2012 : Saratoga Springs, N.Y.)
出版事項: Piscataway : IEEE
出版年月日等: c2012.
出版年（W3CDTF）: 2012
数量: 419 p.
形態の詳細: ill.
大きさ: 27 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Semiconductors--Design and construction--Congresses.
Semiconductor industry--Congresses.
Process control--Congresses.
DDC: 621.38152
NDLC: M17
対象利用者: 一般
一般注記: Papers.
IEEE cat no CFP12ASC-PRT.
書誌注記: Includes bibliographical references.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-12-3902
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 023781703
http://id.ndl.go.jp/bib/023781703
OCLC番号: 805006818
https://www.worldcat.org/oclc/805006818
目録規則: 英米目録規則
整理区分コード: 215