Quantum-beam-induced phenomena in chlorinated resists : reaction mechanisms and applications to advanced technologies

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Quantum-beam-induced phenomena in chlorinated resists : reaction mechanisms and applications to advanced technologies
• 著者・編者: Tomoko Gowa Oyama [著]
• 著者標目: 大山, 智子 オオヤマ, トモコ; 五輪, 智子 ゴワ, トモコ
• 出版事項: [Tomoko Gowa Oyama]
• 出版年月日等: [2012]
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 塩素系レジストの量子ビーム誘起反応 : 反応機構の解明と先端技術への応用 エンソケイ レジスト ノ リョウシ ビーム ユウキ ハンノウ : ハンノウ キコウ ノ カイメイ ト センタン ギジュツ エ ノ オウヨウ
• 授与機関名: 早稲田大学
• 授与年月日: 平成24年3月15日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2012
• 報告番号: 甲第3555号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2012-D763
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023810588; http://id.ndl.go.jp/bib/023810588
• 整理区分コード: 213