Quantum-beam-induced phenomena in chlorinated resists : reaction mechanisms and applications to advanced technologies

• Material Type: 博士論文
• Title: Quantum-beam-induced phenomena in chlorinated resists : reaction mechanisms and applications to advanced technologies
• Author/Editor: Tomoko Gowa Oyama [著]
• Author Heading: 大山, 智子 オオヤマ, トモコ; 五輪, 智子 ゴワ, トモコ
• Publication, Distribution, etc.: [Tomoko Gowa Oyama]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 塩素系レジストの量子ビーム誘起反応 : 反応機構の解明と先端技術への応用 エンソケイ レジスト ノ リョウシ ビーム ユウキ ハンノウ : ハンノウ キコウ ノ カイメイ ト センタン ギジュツ エ ノ オウヨウ
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成24年3月15日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第3555号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-D763
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023810588; http://id.ndl.go.jp/bib/023810588
• Bibliographic Record Category (NDL): 213