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第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集 目次
〔9月26日〕
OS2-1 三次元の微細形状創成技術
1-1 集束イオンビーム化学気相成長法における成長高さ補正に関する研究/ 3
1-2 2光子マイクロ光造形を用いた金属化マイクロ可動部品の作製法の提案と実証(ポリマー立体構造の無電解メッキとレーザーアブレーションによるリリース)/ 5
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロ ・ ナノ コウガク シンポジウム コウエン ロンブンシュウ
- 巻次・部編番号
- 第3回
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2011.9
- 出版年（W3CDTF）
- 2011
- 数量
- 178p
- 大きさ
- 30cm