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マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集 第3回

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マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集. 第3回

Call No. (NDL)
YU7-J3783
Bibliographic ID of National Diet Library
023816566
Material type
図書
Author
日本機械学会
Publisher
日本機械学会
Publication date
2011.9
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
178p ; 30cm
NDC
530.4
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Notes on use

Note (General):

会期・会場: 2011年9月26日-27日 タワーホール船堀

Accompanying material:

CD-ROM 1枚 (12cm)

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Table of Contents

  • 第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集 目次

  • 〔9月26日〕

  • OS2-1 三次元の微細形状創成技術

  • 1-1 集束イオンビーム化学気相成長法における成長高さ補正に関する研究/ 3

    村尾裕規(東大)||米谷玲皇(東大)||割澤伸一(東大)||石原直

  • 1-2 2光子マイクロ光造形を用いた金属化マイクロ可動部品の作製法の提案と実証(ポリマー立体構造の無電解メッキとレーザーアブレーションによるリリース)/ 5

    池上崇(横国大)||J.T.Fourkas(U.of Maryland)||丸尾昭二(横国大)

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロ ・ ナノ コウガク シンポジウム コウエン ロンブンシュウ
Volume
第3回
Author Heading
日本機械学会 ニホン キカイ ガッカイ ( 00260709 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2011.9
Publication Date (W3CDTF)
2011
Extent
178p
Size
30cm