Microlithography : science and technology

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781439876756 (hbk); 9781315117171 (ebk)
• タイトル: Microlithography : science and technology
• 著者・編者: edited by Bruce W. Smith and Kazuaki Suzuki
• 版: Third edition
• 著者標目: Smith, Bruce W., 1959-; Suzuki, Kazuaki [鈴木一明]
• 出版事項: Boca Raton : CRC Press (出版)
• 出版年月日等: 2020
• 出版年（W3CDTF）: 2020
• 数量: xi, 837 pages
• 大きさ: 26 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Microlithography--Industrial applications; Integrated circuits--Masks; Metal oxide semiconductors, Complementary--Design and construction; Manufacturing processes
• LCC: TK7836
• DDC: 621.3815/31
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index
• コレクション（個別）: 日本関係外国語図書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-D33
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023854120; http://id.ndl.go.jp/bib/023854120
• LC control number: 2019053732; https://lccn.loc.gov/2019053732
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 要約等: "Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of subm...