Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials, and MEMS

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781437734836; 1437734839
• タイトル: Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials, and MEMS
• 著者・編者: edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera.
• 版: Second edition.
• 著者標目: 和佐, 清孝 ワサ, キヨタカ ( 00130622 )典拠; Kanno, Isaku. [神野伊策]; 小寺, 秀俊 コテラ, ヒデトシ ( 01228602 )典拠
• 出版事項: Waltham [MA] : William Andrew
• 出版年月日等: 2012.
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: xii, 644 pages
• 大きさ: 24 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Cathode sputtering (Plating process)--Handbooks, manuals, etc.; Thin films--Handbooks, manuals, etc.
• LCC: TS695
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• コレクション（個別）: 日本関係外国語図書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-B75
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023931619; http://id.ndl.go.jp/bib/023931619
• OCLC番号: 802326755; https://www.worldcat.org/oclc/802326755
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211