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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合 (新材料・新素材シリーズ)

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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 = Integration technology for heterogeneous advanced devices : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合

(新材料・新素材シリーズ)

国立国会図書館請求記号
ND386-L1
国立国会図書館書誌ID
024050878
資料種別
図書
著者
益一哉, 年吉洋, 町田克之 監修
出版者
シーエムシー出版
出版年
2012.11
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
279p ; 27cm
NDC
549.7
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目次

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  • 目次

  • 〔第1編〕 総論編

  • 第1章 最先端集積システムの技術とその応用

    江刺正喜

  • 1 はじめに/ 15

  • 2 ワイヤレス機器の集積化MEMS/ 3

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紙

資料種別
図書
ISBN
978-4-7813-0586-8
タイトル
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合
タイトルよみ
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSI ノ ユウゴウ
著者・編者
益一哉, 年吉洋, 町田克之 監修
シリーズタイトル
新材料・新素材シリーズ
著者標目
益, 一哉, 1954- マス, カズヤ, 1954- ( 001124168 )典拠
年吉, 洋 トシヨシ, ヒロシ ( 001124169 )典拠
町田, 克之 マチダ, カツユキ ( 001124170 )典拠
出版事項
東京 : シーエムシー出版
出版年月日等
2012.11
出版年（W3CDTF）
2012