図書

Photomask technology 2012 : 11-13 September 2012 : Monterey, California, United States : SPIE conference on photomask technology 2012 : 32nd international symposium on photomask technology : Sep 2012, Monterey, CA. (SPIE Proceedings ; 8522)

図書を表すアイコン

Photomask technology 2012 : 11-13 September 2012 : Monterey, California, United States : SPIE conference on photomask technology 2012 : 32nd international symposium on photomask technology : Sep 2012, Monterey, CA.

(SPIE Proceedings ; 8522)

国立国会図書館請求記号
M17-13-1687
国立国会図書館書誌ID
024187763
資料種別
図書
著者
Abboud, Frank E.ほか
出版者
SPIE
出版年
c2012.
資料形態
ページ数・大きさ等
1 v. (various pagings) ; 28 cm.
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

An abstract and papers.Described as "The conference was (...) held as part of the 32nd International Symposium on Photomask Technology 10-13 September...

形態の詳細:

ill.

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
ISBN
9780819492609 (paperback)
ISSN(シリーズ)
0277786X
シリーズタイトル
出版事項
出版年月日等
c2012.
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1 v. (various pagings)