博士論文

A study on conformal plasma doping process with self-regulating characteristics for source/drain extension

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A study on conformal plasma doping process with self-regulating characteristics for source/drain extension

国立国会図書館請求記号
UT51-2012-Q189
国立国会図書館書誌ID
024377164
資料種別
博士論文
著者
Yuichiro Sasaki [著]
出版者
[Yuichiro Sasaki]
出版年
[2012]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京工業大学,博士(工学)
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Yuichiro Sasaki [著]
著者標目
佐々木, 雄一朗 ササキ, ユウイチロウ
出版事項
出版年月日等
[2012]
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1冊
並列タイトル等
ソースドレインエクステンション形成のための自己飽和特性を用いたコンフォーマルプラズマドーピングプロセスに関する研究 ソース ドレイン エクステンション ケイセイ ノ タメ ノ ジコ ホウワ トクセイ オ モチイタ コンフォーマル プラズマ ドーピング プロセス ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東京工業大学