A study on conformal plasma doping process with self-regulating characteristics for source/drain extension

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: A study on conformal plasma doping process with self-regulating characteristics for source/drain extension
• 著者・編者: Yuichiro Sasaki [著]
• 著者標目: 佐々木, 雄一朗 ササキ, ユウイチロウ
• 出版事項: [Yuichiro Sasaki]
• 出版年月日等: [2012]
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: ソースドレインエクステンション形成のための自己飽和特性を用いたコンフォーマルプラズマドーピングプロセスに関する研究 ソース ドレイン エクステンション ケイセイ ノ タメ ノ ジコ ホウワ トクセイ オ モチイタ コンフォーマル プラズマ ドーピング プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成24年3月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2012
• 報告番号: 甲第8816号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2012-Q189
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024377164; http://id.ndl.go.jp/bib/024377164
• 整理区分コード: 213