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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Yuichiro Sasaki [著]
- 著者標目
- 佐々木, 雄一朗 ササキ, ユウイチロウ
- 出版年月日等
- [2012]
- 出版年(W3CDTF)
- 2012
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- ソースドレインエクステンション形成のための自己飽和特性を用いたコンフォーマルプラズマドーピングプロセスに関する研究 ソース ドレイン エクステンション ケイセイ ノ タメ ノ ジコ ホウワ トクセイ オ モチイタ コンフォーマル プラズマ ドーピング プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東京工業大学