A study on conformal plasma doping process with self-regulating characteristics for source/drain extension

• Material Type: 博士論文
• Title: A study on conformal plasma doping process with self-regulating characteristics for source/drain extension
• Author/Editor: Yuichiro Sasaki [著]
• Author Heading: 佐々木, 雄一朗 ササキ, ユウイチロウ
• Publication, Distribution, etc.: [Yuichiro Sasaki]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: ソースドレインエクステンション形成のための自己飽和特性を用いたコンフォーマルプラズマドーピングプロセスに関する研究 ソース ドレイン エクステンション ケイセイ ノ タメ ノ ジコ ホウワ トクセイ オ モチイタ コンフォーマル プラズマ ドーピング プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成24年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第8816号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-Q189
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024377164; http://id.ndl.go.jp/bib/024377164
• Bibliographic Record Category (NDL): 213