Planarization CMP & its applications

• 資料種別: 雑誌; 電子資料
• ISSN: 2187-8579
• ISSN-L: 2187-8579
• タイトル: Planarization CMP & its applications
• タイトルよみ: Planarization CMP & its applications
• 巻次・部編番号: 15:2012
• 著者標目: 精密工学会 セイミツ コウガッカイ ( 00299339 )典拠
• 出版事項: 福岡 : 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」
• 出版年月日等: 2012
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 刊行巻次・年月次: v. 15 (2013年版)-
• 大きさ: 12cm
• その他のタイトル（略タイトル）: Planarization
• その他のタイトル（キー・タイトル）: Planarization
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 資料種別（注記）: [電子資料]
• 電子的内容: テキスト・データ
• システム要件に関する注記: Windows 98SE以降 (v. 15による); Windows 7/8以降 (v. 16による)
• NDLC: ZN12; ZN33
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: YH247-1327
• 関連情報: 関連資料; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000108334
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024429068; http://id.ndl.go.jp/bib/024429068
• 全国書誌番号: 01034114
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 144