Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819423785 (v. 1)
• タイトル: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
• 著者・編者: P. Rai-Choudhury, editor.
• シリーズタイトル: IEE materials and devices series ; 12; SPIE Press monograph ; PM39
• タイトル標目: IEE materials & devices series ; 12A-12B.
• 著者標目: Rai-Choudhury, P.
• 出版事項: Bellingham, Washington, USA : SPIE Optical Engineering Press; London, UK : The Institution of Electrical Engineers
• 出版年月日等: [1997]-
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: volumes
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 26 cm.
• 並列タイトル等: Microlithography, micromachining, and microfabrication
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Microlithography.; Micromachining.; Microfabrication.
• LCC: TK7836
• DDC: 670
• NDLC: ND351
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND351-B56
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024625711; http://id.ndl.go.jp/bib/024625711
• LC control number: 96040237; https://lccn.loc.gov/96040237
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: v. 1. Microlithography.（提供元: 国立国会図書館蔵書）