研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析
• タイトルよみ: ケンマ パッド ノ ヒセンケイ ネンダンセイ オ コウリョシタ CMP プロセス ノ EHL カイセキ
• 著者・編者: 橋本洋平 [著]
• 著者標目: 橋本, 洋平 ハシモト, ヨウヘイ
• 出版事項: [橋本洋平]
• 出版年月日等: [2013]
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成25年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2013
• 報告番号: 甲第10197号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-B825
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024664340; http://id.ndl.go.jp/bib/024664340
• 整理区分コード: 213