研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析

研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析

Call No. (NDL): UT51-2013-B825
Bibliographic ID of National Diet Library: 024664340

Material type: 博士論文

Author: 橋本洋平 [著]

Publisher: [橋本洋平]

Publication date: [2013]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 名古屋大学,博士(工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析
Title Transcription: ケンマパッドノヒセンケイネンダンセイオコウリョシタ CMP プロセスノ EHL カイセキ
Author/Editor: 橋本洋平 [著]
Author Heading: 橋本, 洋平ハシモト, ヨウヘイ
Publication, Distribution, etc.: [橋本洋平]
Publication Date: [2013]
Publication Date (W3CDTF): 2013
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 名古屋大学
Date Granted: 平成25年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2013
Dissertation Number: 甲第10197号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-B825
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024664340
http://id.ndl.go.jp/bib/024664340
Bibliographic Record Category (NDL): 213