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博士論文

研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析

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研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析

Call No. (NDL)
UT51-2013-B825
Bibliographic ID of National Diet Library
024664340
Material type
博士論文
Author
橋本洋平 [著]
Publisher
[橋本洋平]
Publication date
[2013]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
名古屋大学,博士(工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ケンマ パッド ノ ヒセンケイ ネンダンセイ オ コウリョシタ CMP プロセス ノ EHL カイセキ
Author/Editor
橋本洋平 [著]
Author Heading
橋本, 洋平 ハシモト, ヨウヘイ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2013]
Publication Date (W3CDTF)
2013
Extent
1冊
Degree grantor/type
名古屋大学