Modeling aspects in optical metrology 4 : 13-14 May 2013 : Munich, Germany : conference modelling aspects in optical metrology 2013 : SPIE optical metrology symposium : May 2013, Munich, Germany.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780819496058
• ISSN（シリーズ）: 0277786X
• タイトル: Modeling aspects in optical metrology 4 : 13-14 May 2013 : Munich, Germany : conference modelling aspects in optical metrology 2013 : SPIE optical metrology symposium : May 2013, Munich, Germany.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 8789
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 8789. 0277-786X
• 著者標目: Bodermann, Bernd.; Frenner, Karsten.; Silver, Richard M.; European Optical Society (EOS)
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2013.
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1 v. (various pagings)
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 28 cm.
• その他のタイトル: SPIE optical metrology.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Electronic books.
• 件名標目: Optical measurements--Congresses.; Integrated circuits--Congresses.; Semiconductors--Design and construction--Congresses.
• LCC: QC367
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.; "The conference Modelling Aspects in Optical Metrology 2013 is organised for the fourth time (...)" -- introd.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 一次資料へのリンクURL: SPIE Digital Library; http://link.spie.org/PSISDG/8789/1
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-14-100
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024670209; http://id.ndl.go.jp/bib/024670209
• OCLC番号: 847841303; https://www.worldcat.org/oclc/847841303
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215