Smart sensors, actuators, and MEMS 6 : 24-26 April 2013 : Grenoble, France.

• 資料種別: 図書
• ISBN（セット）: 9780819495600 (set)
• ISSN（シリーズ）: 0277786X
• タイトル: Smart sensors, actuators, and MEMS 6 : 24-26 April 2013 : Grenoble, France.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 8763
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 8763. 0277-786X
• 著者標目: Schmid, Ulrich, Prof.; Sánchez-Rojas, José Luis.; Leester-Schaedel, Monika.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2013.
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 2 parts
• 形態の詳細: ill. (some col.)
• 大きさ: 28 cm.
• その他のタイトル: SPIE microtechnologies.; conference smart sensors, actuators and MEMS : Apr 2013, Grenoble, France.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• ジャンル・形式用語: Electronic books.
• 件名標目: Microelectromechanical systems--Congresses.; Microtechnology--Congresses.; Actuators--Industrial applications--Congresses.; Detectors--Industrial applications--Congresses.; Scanning systems--Congresses.
• LCC: TK7875
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 一次資料へのリンクURL: SPIE Digital Library; http://link.spie.org/PSISDG/8763/1
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-13-3457
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024692882; http://id.ndl.go.jp/bib/024692882
• OCLC番号: 847841380; https://www.worldcat.org/oclc/847841380
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215