Clarification of nano-meter-scale surface-layer reaction mechanisms in plasma etching processes

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Clarification of nano-meter-scale surface-layer reaction mechanisms in plasma etching processes
• 著者・編者: Tomoko Ito [著]
• 著者標目: 伊藤, 智子 イトウ, トモコ
• 出版事項: [Tomoko Ito]
• 出版年月日等: [2013]
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明 プラズマ エッチング ニ オケル ナノメートル ヒョウメンソウ ハンノウ キコウ ノ カイメイ
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成25年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2013
• 報告番号: 甲第16421号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-C834
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024709951; http://id.ndl.go.jp/bib/024709951
• 整理区分コード: 213