Clarification of nano-meter-scale surface-layer reaction mechanisms in plasma etching processes

• Material Type: 博士論文
• Title: Clarification of nano-meter-scale surface-layer reaction mechanisms in plasma etching processes
• Author/Editor: Tomoko Ito [著]
• Author Heading: 伊藤, 智子 イトウ, トモコ
• Publication, Distribution, etc.: [Tomoko Ito]
• Publication Date: [2013]
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Extent: 1冊
• Alternative Title: プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明 プラズマ エッチング ニ オケル ナノメートル ヒョウメンソウ ハンノウ キコウ ノ カイメイ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成25年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2013
• Dissertation Number: 甲第16421号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-C834
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024709951; http://id.ndl.go.jp/bib/024709951
• Bibliographic Record Category (NDL): 213