Amorphous carbon and silica-based films synthesized by atmospheric pressure plasma CVD method

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Amorphous carbon and silica-based films synthesized by atmospheric pressure plasma CVD method
• 著者・編者: Mayui Noborisaka [著]
• 著者標目: 登坂, 万結 ノボリサカ, マユイ
• 出版事項: [Mayui Noborisaka]
• 出版年月日等: [2013]
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 大気圧プラズマ化学蒸着法で作製した非晶質炭素膜とシリカ系薄膜 タイキアツ プラズマ カガク ジョウチャクホウ デ サクセイシタ ヒショウシツ タンソマク ト シリカケイ ハクマク
• 授与機関名: 慶應義塾大学
• 授与年月日: 平成25年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2013
• 報告番号: 甲第3788号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-D786
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024809011; http://id.ndl.go.jp/bib/024809011
• 整理区分コード: 213