Amorphous carbon and silica-based films synthesized by atmospheric pressure plasma CVD method

• Material Type: 博士論文
• Title: Amorphous carbon and silica-based films synthesized by atmospheric pressure plasma CVD method
• Author/Editor: Mayui Noborisaka [著]
• Author Heading: 登坂, 万結 ノボリサカ, マユイ
• Publication, Distribution, etc.: [Mayui Noborisaka]
• Publication Date: [2013]
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 大気圧プラズマ化学蒸着法で作製した非晶質炭素膜とシリカ系薄膜 タイキアツ プラズマ カガク ジョウチャクホウ デ サクセイシタ ヒショウシツ タンソマク ト シリカケイ ハクマク
• Degree grantor/type: 慶應義塾大学
• Date Granted: 平成25年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2013
• Dissertation Number: 甲第3788号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-D786
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024809011; http://id.ndl.go.jp/bib/024809011
• Bibliographic Record Category (NDL): 213