博士論文

炭酸ガスレーザによる錫プラズマ生成方式極端紫外光源の高効率化・長寿命化に関する研究

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炭酸ガスレーザによる錫プラズマ生成方式極端紫外光源の高効率化・長寿命化に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2013-E805
国立国会図書館書誌ID
024844800
資料種別
博士論文
著者
藤本准一 [著]
出版者
[藤本准一]
出版年
[2013]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
九州大学,博士(工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
タンサン ガス レーザ ニ ヨル スズ プラズマ セイセイ ホウシキ キョクタン シガイ コウゲン ノ コウコウリツカ チョウジュミョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
藤本准一 [著]
著者標目
藤本, 准一 フジモト, ジュンイチ
出版事項
出版年月日等
[2013]
出版年(W3CDTF)
2013
数量
1冊
授与機関名
九州大学