炭酸ガスレーザによる錫プラズマ生成方式極端紫外光源の高効率化・長寿命化に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 炭酸ガスレーザによる錫プラズマ生成方式極端紫外光源の高効率化・長寿命化に関する研究
Title Transcription: タンサンガスレーザニヨルスズプラズマセイセイホウシキキョクタンシガイコウゲンノコウコウリツカチョウジュミョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 藤本准一 [著]
Author Heading: 藤本, 准一フジモト, ジュンイチ
Publication, Distribution, etc.: [藤本准一]
Publication Date: [2013]
Publication Date (W3CDTF): 2013
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州大学
Date Granted: 平成25年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2013
Dissertation Number: 甲第11457号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-E805
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024844800
http://id.ndl.go.jp/bib/024844800
Bibliographic Record Category (NDL): 213