Ultra-precision displacement sensors for on-machine measurement of micro-structured surfaces

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Ultra-precision displacement sensors for on-machine measurement of micro-structured surfaces
• 著者・編者: Kangwon Lee [著]
• 著者標目: 李, 康源 イ, カンウォン
• 出版事項: [Kangwon Lee]
• 出版年月日等: [2013]
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 微細形状機上測定用変位センサに関する研究 ビサイ ケイジョウ キジョウ ソクテイヨウ ヘンイ センサ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成25年3月27日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2013
• 報告番号: 甲第15180号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-H383
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 024934175; http://id.ndl.go.jp/bib/024934175
• 整理区分コード: 213