Ultra-precision displacement sensors for on-machine measurement of micro-structured surfaces

• Material Type: 博士論文
• Title: Ultra-precision displacement sensors for on-machine measurement of micro-structured surfaces
• Author/Editor: Kangwon Lee [著]
• Author Heading: 李, 康源 イ, カンウォン
• Publication, Distribution, etc.: [Kangwon Lee]
• Publication Date: [2013]
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 微細形状機上測定用変位センサに関する研究 ビサイ ケイジョウ キジョウ ソクテイヨウ ヘンイ センサ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成25年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 2013
• Dissertation Number: 甲第15180号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-H383
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024934175; http://id.ndl.go.jp/bib/024934175
• Bibliographic Record Category (NDL): 213