Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors 7 : 28 August 2013 : San Diego, California, United States : 2013 SPIE conference 8819, instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors 7 : Aug 2013, San Diego, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780819496690
• ISSN（シリーズ）: 0277786X
• タイトル: Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors 7 : 28 August 2013 : San Diego, California, United States : 2013 SPIE conference 8819, instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing, optics, and semiconductors 7 : Aug 2013, San Diego, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 8819
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 8819. 0277-786X
• 著者標目: Postek, Michael T.; Orji, Ndubuisi George.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2013.
• 出版年（W3CDTF）: 2013
• 数量: 1 v. (various pagings)
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 28 cm.
• その他のタイトル: SPIE optics + photonics.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Nanostructured materials--Congresses.; Microfabrication--Congresses.; Nanotechnology--Congresses.
• LCC: TA418.9.N35
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 一次資料へのリンクURL: SPIE Digital Library; http://link.spie.org/PSISDG/8819/1
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-14-1265
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025019754; http://id.ndl.go.jp/bib/025019754
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215