新規極性変換反応を利用したKrF及びArFリソグラフィ用高解像性フォトレジストの開発

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 新規極性変換反応を利用したKrF及びArFリソグラフィ用高解像性フォトレジストの開発
• タイトルよみ: シンキ キョクセイ ヘンカン ハンノウ オ リヨウシタ KrF オヨビ ArF リソグラフィヨウ コウカイゾウセイ フォトレジスト ノ カイハツ
• 著者・編者: 服部孝司 [著]
• 著者標目: 服部, 孝司 ハットリ, タカシ
• 出版事項: [服部孝司]
• 出版年月日等: [2012]
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京工業大学
• 授与年月日: 平成24年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2012
• 報告番号: 乙第4072号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-K583
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025023533; http://id.ndl.go.jp/bib/025023533
• 整理区分コード: 213