新規極性変換反応を利用したKrF及びArFリソグラフィ用高解像性フォトレジストの開発

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Material Type: 博士論文
Title: 新規極性変換反応を利用したKrF及びArFリソグラフィ用高解像性フォトレジストの開発
Title Transcription: シンキキョクセイヘンカンハンノウオリヨウシタ KrF オヨビ ArF リソグラフィヨウコウカイゾウセイフォトレジストノカイハツ
Author/Editor: 服部孝司 [著]
Author Heading: 服部, 孝司ハットリ, タカシ
Publication, Distribution, etc.: [服部孝司]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成24年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 乙第4072号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-K583
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 025023533
http://id.ndl.go.jp/bib/025023533
Bibliographic Record Category (NDL): 213