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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 清水秀治 [著]
- 著者標目
- 清水, 秀治 シミズ, ヒデハル
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2012]
- 出版年(W3CDTF)
- 2012
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 高性能高信頼性ULSI-Cu配線システム構築を目指した材料・薄膜形成技術の設計 コウセイノウ コウシンライセイ ULSI-Cu ハイセン システム コウチク オ メザシタ ザイリョウ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ セッケイ
- 授与機関名
- 東京大学