博士論文

Design of thin-film materials and their processing for highly reliable, high-performance ULSI Cu interconnect systems

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Design of thin-film materials and their processing for highly reliable, high-performance ULSI Cu interconnect systems

国立国会図書館請求記号
UT51-2013-M99
国立国会図書館書誌ID
025093676
資料種別
博士論文
著者
清水秀治 [著]
出版者
[清水秀治]
出版年
[2012]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士(工学)
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
清水秀治 [著]
著者標目
清水, 秀治 シミズ, ヒデハル
出版事項
出版年月日等
[2012]
出版年(W3CDTF)
2012
数量
1冊
並列タイトル等
高性能高信頼性ULSI-Cu配線システム構築を目指した材料・薄膜形成技術の設計 コウセイノウ コウシンライセイ ULSI-Cu ハイセン システム コウチク オ メザシタ ザイリョウ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ セッケイ
授与機関名
東京大学