Design of thin-film materials and their processing for highly reliable, high-performance ULSI Cu interconnect systems

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Design of thin-film materials and their processing for highly reliable, high-performance ULSI Cu interconnect systems
• 著者・編者: 清水秀治 [著]
• 著者標目: 清水, 秀治 シミズ, ヒデハル
• 出版事項: [清水秀治]
• 出版年月日等: [2012]
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 高性能高信頼性ULSI-Cu配線システム構築を目指した材料・薄膜形成技術の設計 コウセイノウ コウシンライセイ ULSI-Cu ハイセン システム コウチク オ メザシタ ザイリョウ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ セッケイ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成24年9月27日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2012
• 報告番号: 甲第28684号
• 学位: 博士(工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2013-M99
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025093676; http://id.ndl.go.jp/bib/025093676
• 整理区分コード: 213