Design of thin-film materials and their processing for highly reliable, high-performance ULSI Cu interconnect systems

• Material Type: 博士論文
• Title: Design of thin-film materials and their processing for highly reliable, high-performance ULSI Cu interconnect systems
• Author/Editor: 清水秀治 [著]
• Author Heading: 清水, 秀治 シミズ, ヒデハル
• Publication, Distribution, etc.: [清水秀治]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高性能高信頼性ULSI-Cu配線システム構築を目指した材料・薄膜形成技術の設計 コウセイノウ コウシンライセイ ULSI-Cu ハイセン システム コウチク オ メザシタ ザイリョウ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ セッケイ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成24年9月27日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第28684号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-M99
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025093676; http://id.ndl.go.jp/bib/025093676
• Bibliographic Record Category (NDL): 213