Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781482222050 (hardcover : alk. paper); 1482222051 (hardcover : alk. paper)
• タイトル: Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication
• 著者・編者: Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic.
• 版: Second edition.
• 著者標目: 真壁, 利明, 1947- マカベ, トシアキ, 1947- ( 00162951 )典拠; Petrović, Z.
• 出版事項: Boca Raton, FL : CRC Press (出版)
• 出版年月日等: [2015]
• 出版年（W3CDTF）: 2015
• 数量: xxxv, 376 pages
• 形態の詳細: illustrations
• 大きさ: 24 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 表現種別: text
• 機器種別: unmediated
• キャリア種別: volume
• 件名標目: Plasma engineering.
• LCC: TA2020
• DDC: 621.044
• NDLC: MC241
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: "Version Date: 20140710"--Verso of title page.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and index.
• コレクション（個別）: 日本関係外国語図書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: MC241-B33
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025249903; http://id.ndl.go.jp/bib/025249903
• LC control number: 2014016456; https://lccn.loc.gov/2014016456
• OCLC番号: 868641989; https://www.worldcat.org/oclc/868641989
• 目録規則: RDA
• 整理区分コード: 211

• 内容細目: IntroductionPhenomenological description of the charged particle transportMacroscopic plasma characteristics...