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ナノインプリント技術

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ナノインプリント技術 = Nanoimprint Technology

国立国会図書館請求記号
ND371-L37
国立国会図書館書誌ID
025314561
資料種別
図書
著者
松井真二, 平井義彦 編著ほか
出版者
電子情報通信学会
出版年
2014.3
資料形態
ページ数・大きさ等
10,265p ; 21cm
NDC
549.8
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目次

  • 目次

  • 第1章 ナノインプリントと微細加工

  • 1.1 ナノインプリントの歴史/ 1

  • 1.2 微細加工におけるナノインプリントの位置づけ/ 5

  • 1.2.1 ナノモールドの作製/ 9

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
978-4-88552-285-7
タイトルよみ
ナノインプリント ギジュツ
著者・編者
松井真二, 平井義彦 編著
電子情報通信学会 編
著者標目
松井, 真二, 1950- マツイ, シンジ, 1950- ( 01013822 )典拠
平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ ( 01053992 )典拠
電子情報通信学会 デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ ( 00258121 )典拠
出版年月日等
2014.3
出版年(W3CDTF)
2014
数量
10,265p