ナノインプリント技術 = Nanoimprint Technology

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-88552-285-7
• タイトル: ナノインプリント技術
• タイトルよみ: ナノインプリント ギジュツ
• 著者・編者: 松井真二, 平井義彦 編著; 電子情報通信学会 編
• 著者標目: 松井, 真二, 1950- マツイ, シンジ, 1950- ( 01013822 )典拠; 平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ ( 01053992 )典拠; 電子情報通信学会 デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ ( 00258121 )典拠
• 出版事項: 東京 : 電子情報通信学会; 東京 : コロナ社 (発売)
• 出版年月日等: 2014.3
• 出版年（W3CDTF）: 2014
• 数量: 10,265p
• 大きさ: 21cm
• 並列タイトル等: Nanoimprint Technology
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ナノインプリント ナノインプリント ( 01086440 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 索引あり
• 入手条件・定価: 4400円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-L37
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025314561; http://id.ndl.go.jp/bib/025314561
• 全国書誌番号: 22383518
• トーハンMARC番号: 33065868
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

第1章 ナノインプリントと微細加工

1.1 ナノインプリントの歴史/ 1

1.2 微細加工におけるナノインプリントの位置づけ/ 5

1.2.1 ナノモールドの作製/ 9