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目次
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第1章 ナノインプリントと微細加工
1.1 ナノインプリントの歴史/ 1
1.2 微細加工におけるナノインプリントの位置づけ/ 5
1.2.1 ナノモールドの作製/ 9
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紙- 549-ナノ
- 102781747
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紙- 549/ 58/
- 1102372458
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紙- 549.0-5280-2014
- 7103673798
神奈川県立川崎図書館
紙- 549-466
- 81604621
横浜市立図書館
紙- 549
- 2052048888
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-88552-285-7
- タイトル
- タイトルよみ
- ナノインプリント ギジュツ
- 著者・編者
- 松井真二, 平井義彦 編著電子情報通信学会 編
- 著者標目
- 松井, 真二, 1950- マツイ, シンジ, 1950- ( 01013822 )典拠
- 出版年月日等
- 2014.3
- 出版年(W3CDTF)
- 2014
- 数量
- 10,265p