ナノインプリント技術 = Nanoimprint Technology

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-88552-285-7
• Title: ナノインプリント技術
• Title Transcription: ナノインプリント ギジュツ
• Author/Editor: 松井真二, 平井義彦 編著; 電子情報通信学会 編
• Author Heading: 松井, 真二, 1950- マツイ, シンジ, 1950- ( 01013822 )Authorities; 平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ ( 01053992 )Authorities; 電子情報通信学会 デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ ( 00258121 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 電子情報通信学会; 東京 : コロナ社 (発売)
• Publication Date: 2014.3
• Publication Date (W3CDTF): 2014
• Extent: 10,265p
• Size: 21cm
• Alternative Title: Nanoimprint Technology
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: ナノインプリント ナノインプリント ( 01086440 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 索引あり
• Price: 4400円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-L37
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025314561; http://id.ndl.go.jp/bib/025314561
• National Bibliography No. (JPNO): 22383518
• TOHAN MARC No.: 33065868
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

目次

第1章 ナノインプリントと微細加工

1.1 ナノインプリントの歴史/ 1

1.2 微細加工におけるナノインプリントの位置づけ/ 5

1.2.1 ナノモールドの作製/ 9