最新シリコンデバイスと結晶技術 : 先端LSIが要求するウェーハ技術の現状

• 資料種別: 図書
• ISBN: 4-89808-067-7
• タイトル: 最新シリコンデバイスと結晶技術 : 先端LSIが要求するウェーハ技術の現状
• タイトルよみ: サイシン シリコン デバイス ト ケッショウ ギジュツ : センタン LSI ガ ヨウキュウスル ウェーハ ギジュツ ノ ゲンジョウ
• 著者・編者: 清水博文 編集委員長; 池田和子, 高田清司, 福田哲生 [編]
• 著者標目: 清水, 博文, 1945- シミズ, ヒロフミ, 1945- ( 00911334 )典拠; 池田, 和子, pub. 2005 イケダ, カズコ, pub. 2005 ( 001180662 )典拠; 高田, 清司 タカダ, キヨシ ( 00830895 )典拠; 福田, 哲生 フクダ, テツオ ( 01082972 )典拠
• 出版事項: 東京 : リアライズ理工センター
• 出版年月日等: 2005.12
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 330, 8p
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: シリコン (半導体) シリコン (ハンドウタイ) ( 00571220 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 入手条件・定価: 50000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-L47
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025629726; http://id.ndl.go.jp/bib/025629726
• 全国書誌番号: 22463202
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

最新 シリコンデバイスと結晶技術 -先端技術SLIが要求するウェーハ技術の現状- 目次

第1章 はじめに/ 1

1. はじめに/ 3

第2章 デバイスから見た結晶ニーズ/ 7

1. デバイス動向と結晶ニーズ/ 9