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目次
最新 シリコンデバイスと結晶技術 -先端技術SLIが要求するウェーハ技術の現状- 目次
第1章 はじめに/ 1
1. はじめに/ 3
第2章 デバイスから見た結晶ニーズ/ 7
1. デバイス動向と結晶ニーズ/ 9
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-89808-067-7
- タイトルよみ
- サイシン シリコン デバイス ト ケッショウ ギジュツ : センタン LSI ガ ヨウキュウスル ウェーハ ギジュツ ノ ゲンジョウ
- 著者・編者
- 清水博文 編集委員長池田和子, 高田清司, 福田哲生 [編]
- 著者標目
- 清水, 博文, 1945- シミズ, ヒロフミ, 1945- ( 00911334 )典拠池田, 和子, pub. 2005 イケダ, カズコ, pub. 2005 ( 001180662 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2005.12
- 出版年(W3CDTF)
- 2005
- 数量
- 330, 8p