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Table of Contents
最新 シリコンデバイスと結晶技術 -先端技術SLIが要求するウェーハ技術の現状- 目次
第1章 はじめに/ 1
1. はじめに/ 3
第2章 デバイスから見た結晶ニーズ/ 7
1. デバイス動向と結晶ニーズ/ 9
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 4-89808-067-7
- Title Transcription
- サイシン シリコン デバイス ト ケッショウ ギジュツ : センタン LSI ガ ヨウキュウスル ウェーハ ギジュツ ノ ゲンジョウ
- Author/Editor
- 清水博文 編集委員長池田和子, 高田清司, 福田哲生 [編]
- Author Heading
- 清水, 博文, 1945- シミズ, ヒロフミ, 1945- ( 00911334 )Authorities池田, 和子, pub. 2005 イケダ, カズコ, pub. 2005 ( 001180662 )Authorities高田, 清司 タカダ, キヨシ ( 00830895 )Authorities福田, 哲生 フクダ, テツオ ( 01082972 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2005.12
- Publication Date (W3CDTF)
- 2005
- Extent
- 330, 8p