最新シリコンデバイスと結晶技術 : 先端LSIが要求するウェーハ技術の現状

• Material Type: 図書
• ISBN: 4-89808-067-7
• Title: 最新シリコンデバイスと結晶技術 : 先端LSIが要求するウェーハ技術の現状
• Title Transcription: サイシン シリコン デバイス ト ケッショウ ギジュツ : センタン LSI ガ ヨウキュウスル ウェーハ ギジュツ ノ ゲンジョウ
• Author/Editor: 清水博文 編集委員長; 池田和子, 高田清司, 福田哲生 [編]
• Author Heading: 清水, 博文, 1945- シミズ, ヒロフミ, 1945- ( 00911334 )Authorities; 池田, 和子, pub. 2005 イケダ, カズコ, pub. 2005 ( 001180662 )Authorities; 高田, 清司 タカダ, キヨシ ( 00830895 )Authorities; 福田, 哲生 フクダ, テツオ ( 01082972 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : リアライズ理工センター
• Publication Date: 2005.12
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Extent: 330, 8p
• Size: 30cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: シリコン (半導体) シリコン (ハンドウタイ) ( 00571220 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 文献あり
• Price: 50000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-L47
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025629726; http://id.ndl.go.jp/bib/025629726
• National Bibliography No. (JPNO): 22463202
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

最新 シリコンデバイスと結晶技術 -先端技術SLIが要求するウェーハ技術の現状- 目次

第1章 はじめに/ 1

1. はじめに/ 3

第2章 デバイスから見た結晶ニーズ/ 7

1. デバイス動向と結晶ニーズ/ 9