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目次
1.シリサイド系半導体の基礎
2.結晶成長技術
3.薄膜形成技術
4.構造解析
5.鉄シリサイドの物性
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関東
千葉県立西部図書館
紙- 請求記号:
- 5498/ 182/
- 図書登録番号:
- 1102381635
東京都立中央図書館
紙- 請求記号:
- 549.8-5289-2014
- 図書登録番号:
- 7104684553
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号:
- 549.8-377
- 図書登録番号:
- 81619579
相模原市立図書館
紙- 図書登録番号:
- 32252298
東海・北陸
愛知県図書館
紙- 請求記号:
- 549.8-マエ-1092703
- 図書登録番号:
- 1110927039
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-7853-2920-4
- タイトルよみ
- シリサイドケイ ハンドウタイ ノ カガク ト ギジュツ : シゲン カンキョウ ジダイ ノ アタラシイ ハンドウタイ ト カンレン ブッシツ
- 著者・編者
- 前田佳均 編著
- 著者標目
- 前田, 佳均, 1959- マエダ, ヨシヒト, 1959- ( 001184361 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2014.9
- 出版年(W3CDTF)
- 2014
- 数量
- 324p